LVC414 ASM 액체 수증기 기화기 관제사 LVC 414

LVC414 ASM 액체 수증기 기화기 관제사 LVC 414

제품 세부사항

전자 기화기 관제사 LVC-414는 정확하게 측정하고 통제하기 위하여 디자인되었습니다

a를 통해 운반 기체의 교류를 변화해서 진한 액체로 처리 물자의 질량 유속 (그램/분)

원자료를 포함하는 버플러.

원자료는 SiCl4, SiHCl3, POCl13, GeCl4 및 BBr3를 포함합니다. 다른 진한 액체로 처리 물자는 할 수 있습니다

그들이 정확한을 위한 충분한 농도로 기체화하면 이라는 조건으로, 또한 통제되십시오

ratiodetection. 운반 기체는 H2, 그, N2, O2 및 Ar를 포함합니다.

3 산출은 제공됩니다:

근원 (+5VDC에 0).

운반대 (+5VDC에 0)

비율 (+5VDC에 0).

이 산출은 1000년의 감도를 가진 어떤 5개 볼트 D.C 전압계든지로 감시될 수 있습니다

옴/볼트 또는 더 많은 것. 붙박이 벨브는 운반대 근원을 통제하기 위하여 질량 유속을 변화합니다

외부 통제 전압에 의해 선정되는 그램/min.

스몰 패키지는 유량계 단면도, 비율 발견자, 통제 벨브를 포함합니다

전자공학

명세

최소한도 운반 기체 교류: 최대의 5%

최대 근원 교류: 40까지 그램/사소 전면적

운영 압력 범위: 10-40 psi 미분

최대 가스압력: 60 psig

가스와 주위 온도 범위: 60-90°F (15-35°C) 특별한 요구에 43°C까지

응답: setpoint의 안에서 4%에 10 초

운반 기체: 수소, 헬륨, 질소, 산소 또는 아르곤, 혼합 가스

반복성: 전면적의 ± 0.5%

압력 감각력: 10에서 40 psid까지 압력을 위한 전면적의 ± 0.25%

정확도와 선형성: 전체 운영 범위에 전면적의 ± 4.0%

명령 조정: 0.1 5 vdc

산출 표시:

1. 근원: 기체화된 액체의 질량 유속에 선형의 0.1-5 vdc 비례

2. 운반대: 운반 기체의 질량 유속에 선형의 0.1-5 vdc 비례

3. 비율: 운반대 교류에 수증기 교류 (SCCM)의 비율에 선형의 0.1-5 vdc 비례

(SCCM) vdc = 50% 5로 올라

산출 임피던스: 10 옴 최대

잔물결: 최대 50 mv PP

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